工程机械 |
55吨~100吨汽车起重机及系列专用底盘 |
25~55吨轮胎式起重机及55吨以上履带式起重机械 |
载重50吨~100吨重型矿用汽车 |
大型施工工程设备 |
系列挖掘机和叉车等主导产品 |
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电子专用装备 |
集成电路关键制造装备:包括等离子刻蚀设备、大角度离子注入设备、超薄膜生长设备(CVD,PVD等)、平坦化设备(CMP)、氧化扩散设备、清洗设备等关键工艺设备,圆片减薄机、划片机、粘片机、键合机、倒装芯片焊机、圆片测试探针台等后封装设备。 |
太阳能电池制造设备:包括铸锭炉、单晶炉、多线锯、清洗设备、扩散设备、刻蚀设备、丝网印刷设备、等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)设备、烘干和烧结炉等。 |
六代线及以上TFT-LCD制造设备:包括大面积反射式光刻设备、等离子刻蚀设备、薄膜设备、对位贴合机、模块组装设备等。 |
LED制造设备:包括金属有机化学汽相淀积(MOCVD)设备、芯片测试分选机、贴片机、引线键合机、成品测试分选机及编带机等。 |
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